Plasma-Spritzen-Oberflächenbehandlungs-Ausrüstung für Halbleiter-optoelektronische Industrie

Halbleiter-optoelektronische Industrie-Plasma-Spritzen-Oberflächenbehandlungsausrüstung

1. Produkteinführung

Diese kleine Vakuumplasma-Reinigungsmaschine unter Verwendung der Art Funktionsprinzip der induktiven Kopplung und spielt eine hervorragende Rolle in der Isolierung des Mikrowellenrohrs und -teile. Es ist für die Behandlung von empfindlichen Produkten mit hoher Sauberkeit passend. Es kann die Plastik-, biochemischen Materialien, PDMS, Glas beschäftigen, oder Metallhalbleiter, Keramik, Verbundwerkstoffe, Polymer und andere Materialien, hat verbessert es den Effekt der super sauberen Oberfläche, die Sterilisation, Benetzbarkeitsänderung, Oberflächeneigentumsänderung und verbessert verbindliche Kraft auf der Materialoberfläche.

2. Eigenschaften

• Hauptsächlich anwendbar auf Produktion des kleinen Maßstabs und wissenschaftliches Experiment.
• Bändchen, feste Struktur und einfach zu benützen und instandzuhalten.
• Deutsche Kernplasmatechnologie.
• Importiertes Material des Edelstahls 316; korrosionsbeständig.
• Importierte Kontrollemaschine des genauen Flusses des Nadelventils.
• Zweiwegprozeßreaktionsmittelgaskanal.
• Kundenbezogenheit verfügbar.

3. Technische Parameter:

4. Equipmemt-Zusammensetzung:

Plasmareinigungsmaschine wird aus Reaktionskammer (alias Unterdruckkammer), Vakuum-Anlage, Entladungssystem, elektrisches Kontrollsystem, Aufnahmenflusskontrollsystem verfasst.

1. Die Reaktionskammer wird aus einer Unterdruckkammer und einer Elektrode verfasst, die ein Plasmareaktionsraum ist. Die verarbeitet zu werden Einzelteile werden in die Reaktionskammer gelegt.
2. Die Vakuum-Anlage besteht einem Vakuummessgerät, einer Vakuumpumpe und aus einem Vakuumrohr, das für das Entfernen der Luft in der Reaktionskammer und das Beibehalten eines passenden Vakuumgrads während der Operation verantwortlich ist-.
3. Das Entladungssystem stellt Signal und Energie zur Verfügung, damit die Reaktionskammer die Reaktionsgasionisierung in der Reaktionskammer aufregt, um das benötigte Plasma zu bilden.
4. Die Funktion des elektronischen Kontrollsystems ist, den Aktionsprozeß der Ausrüstung entsprechend den optimalen Prozessparametern und den Schritten zu steuern und behält die Stabilität der Prozessparameter bei
5. Aufnahmenflusskontrollsystem wird hauptsächlich aus Strömungsmesser und Magnetventil verfasst, ist seine Rolle, den Reaktionsgas-Aufnahmenfluß genau zu steuern und behält den notwendigen Vakuumgrad während der Operation bei.

5. Ausrüstungs-Operation

   1) Öffnen Sie die Unterdruckkammertür, setzen Sie die zur Unterdruckkammer verarbeitet zu werden Einzelteile, und nah die Unterdruckkammertür;

   2) Schalten Sie die Betriebsschalter- und Satzparameter durch den Touch Screen ein;

   3) Die Ausrüstung läuft automatisch entsprechend den gesetzten Parametern (Vakuum-→ Lufteintritt → entladen → sich leeren). Nach der Behandlung schellt der Summer, um den Betreiber zu erinnern, dass das Experiment abgeschlossen worden ist;

   4) Öffnen Sie die Unterdruckkammer-Türabdeckung und nehmen Sie die verarbeiteten Einzelteile heraus.

6. Prinzip der Plasma-Reinigung

• Einleitung des Plasmas:

Plasma ist eine Art vorhandener Zustand der Substanz. Es wird normalerweise mit dem Körper gegeneinander gehalten, flüssig und den Gaszuständen einer Substanz und wird den „vierten Aggregatzustand“ genannt. Es kann die energiereichen Partikel des Plasmas benutzen und körperliche und chemische die Reaktion der Materialoberfläche, um die Materialoberflächeaktivierung, Radierung, Entgiftung und andere Prozesse sowie der materielle Reibungskoeffizient, die Adhäsion und die hydrophilen und anderen Oberflächeneigenschaften des Zwecks der Verbesserung zu verwirklichen.

• Kläreffekt des Plasmas:

Die Oberfläche des behandelten Materials wird chemisch und physikalisch, durch die Herstellung des Plasmas und des Materials Oberflächenkontakt, gesäubert und reagiert unter Verwendung der Plasmareinigungstechnologie (Plasmaeigenschaften der niedrigen Temperatur) um Oberflächenglattheit, Implantatsneue chemische Funktionsgruppe zu verbessern und Radierung zu verwirklichen.

   (1) Reinigung und Aktivierung für Materialoberfläche

  (2) chemischer Effekt der Formneuer Funktionsgruppe.

Wenn Reaktionsmittelgas in Strom-entladenes Gas eingeführt wird, geschieht komplexe chemische Reaktion der Oberfläche des aktivierten Materials. Neue Funktionsgruppen werden, wie hydrocarbyl eingeführt, amidogen und Karboxyl-, die aktive Gruppen sind und die Tätigkeit der Materialoberfläche erheblich verbessern konnten.

(3) Plasmaradierung.

Plasmaradierung bedeutet einen Prozess des Entfernens der flüchtigen gasförmigen Substanz, die erzeugt werden, indem sie Plasma einer Art richtiges Gas gewählt herstellt und der Substanz auf fester Oberfläche.

Das Plasma, das Technik ätzt, ist wirklich eine Art reagierendes Plasmaverfahren. Das so genannte direkte Plasma, auch genannt reagierende Ionenradierung, ist- eine Art Form, unter der Plasma direkt geätzt wird. Seine Hauptvorteile umfassen hohe Ätzungsrate und Ebenheit. Die technologischen Parameter des Plasmas eine wesentliche Rolle spielen, wenn Effekt geätzt wird.

7. Plasma-Reinigungsprozeß:

8. Plasma-Reinigungs-Vorteile:

• Es ersetzt die traditionelle nass Reinigungstechnologie, und ist grün und umweltfreundlich (kein VOC enthalten).
• Gas dient als Reaktionsmedium, also sind Operationskosten niedrig (Sauerstoff).
• Breites Spektrum der Anwendung; Behandlungsgegenstand und Grundmaterial brauchen nicht unterschieden zu werden (materielles Diagramm).
• Hohe Reinigungs-Leistungsfähigkeit und einfach, Automatisierung zu verwirklichen.
• Verbessern Sie Materialoberflächeleistung und Klebkraft beim Entfernen des Schmutzes.

9. Vergleich vor und nach Plasma-Behandlung:

Der Kontakt Winkel der Flüssigkeit auf der Oberfläche des Vollmaterials ist ein wichtiger Parameter, zum der Benetzbarkeit der Flüssigkeit auf der Oberfläche des Materials zu messen. Wenn θ90°<90>, die feste Oberfläche hydrophob ist.

Das Maß des Dynwertes ist im Druck, im Beschichten, im Lamellieren, im Schweißen und in anderem Anwendungen sehr allgemein. Es kann die Fähigkeit der Materialoberfläche reflektieren, leicht zu verpfänden. Im allgemeinen das größer der Dynwert, das besser die Verpfändungsleistung der Oberfläche mit einem anderen Material.

10. Allgemeine Anwendungen:

                     Oberflächenänderung von Polymermaterialien verbessert Oberflächenverpfändungseigentum

         Abbau des Oxidrückstandes der elektronischen Bauelemente, verbessert die Bondqualität und den Verpfändungseffekt zu erhöhen.

                            Glassubstrate entfernen organische Schadstoffe

                                     Abbau des Öls von den Metalloberflächen

                                   Graphen und andere Pulverreinigungsänderung

                                              PDMSSurface aktivierte Abbinden

11. Qaulity-Versicherung und nach Salse-Dienstleistungen:

1-jährige Garantie, wenn die Ausrüstung während des Garantiezeitraums ausfällt, Lieferant sollte personnelto weitere Verfolgung und Abkommen mit bis Störungssuche vereinbaren.

1) Zusätze und Informationen mit Ausrüstung.

Wenn die Ausrüstung geliefert wird, stellt der Lieferant einen ganzen Satz technische Dokumente hinsichtlich der Operation, der Beauftragung und der Wartung, einschließlich Operation und Wartungshandbücher zur Verfügung. Das Wartungshandbuch sollte Schaltplan, GasSchaltplan und Rohrleitungsdiagramm enthalten.

2) Die Installation

Stellen Sie alle Details bereit, die benötigt werden, um sich für StandortGeräteeinbau vorzubereiten.

3) Training

Während der Installation kann Training, einschließlich Normalbetrieb, Reparatur und Wartung, Analyse von Behälterproblemen entfernt zur Verfügung gestellt werden und Dringlichkeitsverfahren.

4) AusrüstungslieferungsGebrauch und technischer Service der Nachverkäufe

Lieferant stellt die Dokumente des Geräteeinbaus, der Betriebstechnik und der technischen Unterstützung für Operationstraining zur Verfügung. Auch eine Kopie der Garantie, die das Tatsächliche Datum und die Abdeckung der Garantie und des Ansprechpartners des Verkäufers anzeigt.